財經週日趴（影）／蘇威元：明遠精密ALD臭氧供應+節能系統 攻佔台積製程

論壇中心／綜合報導

台積電2奈米製程全面推進，ALD原子層沉積成為不可或缺的核心製程，資深分析師蘇威元在《財經週日趴》指出，明遠精密是台灣第一家成功開發台積電ALD臭氧供氣系統的廠商，同時自主研發節能射頻電源系統實測省電68%，已獲台積電指定合作並出貨，是現階段台積電2奈米概念股中的潛力黑馬。

蘇威元表示，台積電2奈米GAA製程必須採用ALD技術，ALD製程中需要臭氧與電漿活化特用氣體完成原子層鍍膜，明遠精密的AOS先進臭氧系統與RPS遠端電漿源正是這個關鍵環節的核心設備，覆蓋氧化擴散、鍍膜沉積、蝕刻、清洗等五至六道製程，並透過應用材料的合作通路深度切入台積電供應鏈，技術壁壘極高。

在全球跟廠布局上，明遠精密已跟隨台積電赴日本熊本JASM設立子公司並提供在地維修服務，美國廠同步布局。蘇威元強調，新竹高雄共五座2奈米廠持續擴建，明遠精密訂單能見度極高，EPS從Q1到Q2成長77.14%，補漲空間極為可觀。股市投資存在風險，投資人應審慎評估，切勿盲目追高。

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