財經中心／王駿凱報導
隨著半導體產業持續朝先進製程邁進，製程複雜度與產能同步提升，帶動化學品使用量大幅增加，相關廢棄物處理需求也快速上升。法人指出，製程微縮使化學廢液產出呈倍數成長，循環經濟已成為半導體供應鏈轉型的重要關鍵。
觀察產業發展，先進製程節點持續推進，使晶圓製造流程更加複雜。以3奈米製程為例，每片晶圓所產生的廢棄物已達成熟製程的5倍以上，未來隨2奈米及更先進製程量產，廢棄物產量恐進一步放大。在產能擴張與製程升級的雙重推動下，廢棄化學品的處理與再利用，成為維持供應鏈穩定運作的重要環節。
其中，半導體製程中常見的廢氫氟酸及氟化鈣污泥，主要來自蝕刻與設備清洗過程。隨著使用量增加，相關廢棄物的回收與再製需求同步提升，帶動氟系廢棄物處理市場成長。
另一方面，原料端也出現結構性變化。螢石作為煉鋼的重要原料，近年因中國加強開採與出口管制，加上美日將其列為關鍵礦產，供應趨緊、價格持續上升。在此背景下，人造螢石因價格較低、品質穩定，且具備低碳排優勢，逐漸成為替代方案。由於其來源來自半導體廢料回收，也有助降低對進口礦產的依賴，提升供應穩定性。
在相關應用中，立盈環保科技成為市場關注焦點。該公司專注於半導體製程中氟系廢棄物的回收再利用，透過技術將廢氫氟酸與氟化鈣污泥轉製為人造螢石，供應冶煉產業使用。
目前立盈已在台灣北中南建立產能布局，包括平鎮廠、中科零廢中心及南科廠區，合計月產能約3800噸。隨著AI應用帶動半導體需求成長，公司2025年營收年增近六成，顯示循環經濟模式已逐步發揮效益。
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【原文出處】：從廢料到資源 半導體循環經濟打開千億市場